8元マグネトロンスパッタ装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-213 |
| 装置名 | 8元マグネトロンスパッタ装置 / 8 sources magnetron sputtering |
| メーカー名 | 自作 / Lab made |
| 型番 | |
| 大分類（第1） |
成膜装置 |
| 中分類（第1） |
スッパタリング（スパッタ） |
| キーワード | スパッタ 成膜 多層膜 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
・2インチカソード8本
・試料サイズ30 mm角
・RF電源 500 W 2台
・1 kV Arイオンエッチング機構
・試料交換室に8サンプルバンク可