走査型電子顕微鏡(SEM)
分野 | 物質・材料合成プロセス分野 |
機器ID | NU-004 |
装置名 | 走査型電子顕微鏡(SEM) / Scanning Electron Microscope (SEM) |
メーカー名 | 日本電子 / JEOL |
型番 | JSM-7500F |
大分類(第1) |
電子顕微鏡 |
中分類(第1) |
走査型電子顕微鏡 |
キーワード | 表面電子顕微鏡観察 表面元素分析 |
設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス |
・電界放出形電子銃
・二次電子分解能:1.0nm(15kV)、1.4nm(1kV)
・倍率:×25~1,000,000 加速電圧:0.1~30kV
・ジェントルビーム
・オプション:リトラクタブル反射電子検出器(RBEI)、エネルギー分散形X線分析装置(EDS)