イオン注入装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-201 |
| 装置名 | イオン注入装置 / Ion implantation |
| メーカー名 | 日新電機 / Nissin Electric |
| 型番 | NH-20SR-WMH |
| 大分類（第1） |
熱処理・ドーピング |
| 中分類（第1） |
イオン注入 |
| キーワード | イオン注入 ドーピング |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
・加速電圧：5-200kV ・注入電流1 µA～100 µA