急速加熱理装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-202 |
| 装置名 | 急速加熱理装置 / Rapid thermal annealing |
| メーカー名 | AG Associates / AG Associates |
| 型番 | Heatpulse 610 |
| 大分類（第1） |
熱処理・ドーピング |
| 中分類（第1） |
熱処理、レーザーアニール |
| キーワード | 急速熱処理 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
・温度範囲：400～1200℃ ・昇温速度：200℃/sec