薄膜X線回折装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-203 |
| 装置名 | 薄膜X線回折装置 / X-ray diffraction |
| メーカー名 | RIGAKU / RIGAKU |
| 型番 | ATX-G |
| 大分類（第1） |
回折・散乱 |
| 中分類（第1） |
X線回折装置 |
| キーワード | X線回折 X線反射率 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
・線源：Cu Kα線 18kW
・多層膜ミラー，Geモノクロメーター付き
・測定モード：θ－2θスキャン，ロッキングカーブ，逆格子面マッピング，膜面内φスキャン，φ－2θχスキャンなど