原子間力顕微鏡
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-204 |
| 装置名 | 原子間力顕微鏡 / Atomic force microscope |
| メーカー名 | Bruker AXS / Bruker AXS |
| 型番 | Dimension3100 |
| 大分類（第1） |
走査型プローブ顕微鏡 |
| 中分類（第1） |
原子間力顕微鏡 |
| キーワード | 表面形状分析 磁区構造分析 電流マッピング 摩擦力マッピング |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
・スキャン領域：XY方向 約90μm，Z方向 約6μm
・試料サイズ：最大150 mmφ－12 mmt
・測定モード AFM，MFM，EFM，LFM，表面電位顕微鏡，電流像