ダイシングソー装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-210 |
| 装置名 | ダイシングソー装置 / Dicing saw |
| メーカー名 | サムコ / Samco |
| 型番 | DAD522 |
| 大分類（第1） |
組立・パッケージング |
| 中分類（第1） |
ダイシング、スクライバ |
| キーワード | ダイシング |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
・最大ワークサイズ：Φ152.4 mm
・切削可能範囲（XY）： 220 mm×160 mm
・有効ストローク（Z）：27.2 mm ・回転角：380°
・アラインメント用対物レンズ：100倍