フェムト秒レーザー加工分析システム
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-211 |
| 装置名 | フェムト秒レーザー加工分析システム / fs laser microfabrication and analysis system |
| メーカー名 | 輝創 / Kisoh |
| 型番 | UFL-Hybrid |
| 大分類（第1） |
膜加工・エッチング |
| 中分類（第1） |
レーザー加工 |
| キーワード | fsレーザ加工 時間分解磁気光学Kerr効果 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
・光源：1041 nm, 550 fs, 10 µJ
・高調波発生ユニット：40% @520 nm (加工ステーション)
・最大試料寸法：100 mm x 100 mm
・加工スポット：5 µmφ (分析ステーション)
・時間分解磁気分析