走査型電子顕微鏡
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-212 |
| 装置名 | 走査型電子顕微鏡 / Scanning electron microscope |
| メーカー名 | 日本電子 / JEOL |
| 型番 | JSM-6301F |
| 大分類（第1） |
電子顕微鏡 |
| 中分類（第1） |
走査型電子顕微鏡 |
| キーワード | 表面形状分析 組成分析 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
・線源：冷陰極電界放射型電子銃
・加速電圧：0.5～30kV
・倍率：10～500,000
・エネルギー分散型分光器による組成分析可能