8元MBE装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-214 |
| 装置名 | 8元MBE装置 / 8 sources molecular beam epitaxy |
| メーカー名 | 自作 / Lab made |
| 型番 | |
| 大分類（第1） |
成膜装置 |
| 中分類（第1） |
MBE(分子線エピタキシー) |
| キーワード | MBE 金属成膜 多層膜 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
・蒸着源：4cc蒸着源4個、2cc蒸着源2個
・試料サイズ30 mm角
・高圧電源3台
・基板加熱：1000℃
・1kV Arイオンエッチング機構
・20 kV RHEED表面観察機能