スプレーコーター
分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
機器ID | NU-216 |
装置名 | スプレーコーター / Spray coater |
メーカー名 | サンメイ / Sunmay |
型番 | DC110 |
大分類(第1) |
成膜装置 |
中分類(第1) |
コーター(スピン、ディップ、スプレイなど) |
キーワード | スプレーコーティング |
設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
・対応サイズ:最大 □220 mm
・移動範囲:縦横300 mm
・移動速度:10~200 mm/秒
・粒子径:約5~15 µm