電気炉
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-218 |
| 装置名 | 電気炉 / Electric furnance |
| メーカー名 | 光洋リンドバーグ / KOYO Lindberg |
| 型番 | MODEL272-2 |
| 大分類（第1） |
熱処理・ドーピング |
| 中分類（第1） |
酸化 |
| キーワード | ドライ酸化 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
・温度範囲：400-1100℃
・ドライ酸化用