小型微細形状測定機
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-220 |
| 装置名 | 小型微細形状測定機 / Surface profiler |
| メーカー名 | 小坂研究所 / Kosaka Laboratory |
| 型番 | ET200 |
| 大分類（第1） |
その他分析装置 |
| 中分類（第1） |
膜厚測定 |
| キーワード | 段差計 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
・最大サンプルサイズ：φ160×厚さ48mm
・再現性 ：1σ 1nm以内
・測定範囲 ：Z：600 µm，X：100mm
・分解能 ：Z：0.1 nm，X：0.1 µm
・測定力：10 µN〜500 µN