フォトリソグラフィ装置群
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-223 |
| 装置名 | フォトリソグラフィ装置群 / photo lighography system |
| メーカー名 | 共和理研 / Kyowariken |
| 型番 | K310P100S |
| 大分類（第1） |
リソグラフィ |
| 中分類（第1） |
光露光（マスクアライナ） |
| キーワード | 光リソグラフィ コンタクト露光 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス ベンチャービジネスラボラトリ |
・最大2インチ基板
・マスクサイズ：３インチ
・最小パタンサイズ ２µm
・スピンコータ，ベーク炉，ドラフトチャンバー利用可