段差計
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-230 |
| 装置名 | 段差計 / Surface profiler |
| メーカー名 | アルバック / ULVAC |
| 型番 | Dektak150 |
| 大分類（第1） |
その他分析装置 |
| 中分類（第1） |
膜厚測定 |
| キーワード | 段差計 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス ベンチャービジネスラボラトリ |
・触針式 ・垂直分解能：10nm
・測定距離：50 µm～55 mm