超高密度大気圧プラズマ装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-235 |
| 装置名 | 超高密度大気圧プラズマ装置 / Ultra-high density atomospheric pressure plasma system |
| メーカー名 | FUJI / FUJI |
| 型番 | 特注 |
| 大分類（第1） |
表面処理・洗浄 |
| 中分類（第1） |
プラズマ処理 |
| キーワード | 大気圧プラズマ プラズマ処理 ラジカル処理 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 低温プラズマ科学研究センター |
・大気圧プラズマ中のラジカルを用いた材料の表面処理（改質、洗浄）
・使用ガス：Ar，N2．Ar+O2
・電源：AC交流電源、9 kV，60 Hz