In-situ電子スピン共鳴

分野	加工・デバイスプロセス分野
機器ID	NU-236
装置名	In-situ電子スピン共鳴 / In-situ electron spin resonance
メーカー名	Bruker / Bruker
型番	EMX Premium X
大分類（第1）	核磁気共鳴
中分類（第1）	電子スピン共鳴
キーワード	電子スピン共鳴不対電子分析
設置場所	名古屋大学東山キャンパス低温プラズマ科学研究センター

・試料中に存在する不対電子のリアルタイム計測
・気体分析可能
・サンプルサイズ： 5 mm幅以下