in-situプラズマ照射表面分析装置

分野	加工・デバイスプロセス分野
機器ID	NU-240
装置名	in-situプラズマ照射表面分析装置 / In-situ plasma exposure and analysis system
メーカー名	自作 / Lab made
型番
大分類（第1）	表面処理・洗浄
中分類（第1）	プラズマ処理
キーワード	プラズマ処理 X線光電子分光 FTIR
設置場所	名古屋大学東山キャンパス低温プラズマ科学研究センター

・プラズマ照射後の表面のin-situ XPS，FT-IR，STM分析が可能．
・プロセスガス：H2，N2，O2，Ar，He，SiH4，SF6，CF4