ナノインプリント装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-247 |
| 装置名 | ナノインプリント装置 / Nanoimprint |
| メーカー名 | SCIVAX / SCIVAX |
| 型番 | X-300 BVU-ND |
| 大分類（第1） |
リソグラフィ |
| 中分類（第1） |
ナノインプリント |
| キーワード | 熱ナノインプリント UVナノインプリント |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス IB電子情報館西棟5階 |
・形式：熱式，UV式
・最大ワークサイズ：Φ150 mm
・最大荷重：50 kN
・最高仕様温度：250℃，650℃
・UV機能：波長 365 nm／385 nm
・有効照射面積：□100 mm