パリレンコーティング装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-248 |
| 装置名 | パリレンコーティング装置 / Parylene coating system |
| メーカー名 | KISCO / KISCO |
| 型番 | DACS-LAB |
| 大分類（第1） |
成膜装置 |
| 中分類（第1） |
蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| キーワード | パリレン成膜 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス IB電子情報館西棟5階 |
・蒸着チャンバー寸法：ID300×H350 mm
・回転：0.5～10rpm