SEM用断面試料作製装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-253 |
| 装置名 | SEM用断面試料作製装置 / Cross section polisher |
| メーカー名 | JEOL / JEOL |
| 型番 | SM-09010 |
| 大分類（第1） |
膜加工・エッチング |
| 中分類（第1） |
プラズマエッチング |
| キーワード | SEM断面作製 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス IB電子情報館西棟5階 |
・イオン加速電圧：2～6 kV
・イオンビーム径：500 um（半値幅）
・最大搭載試料サイズ：幅11 mm × 長さ10 mm × 厚さ2 mm
・試料移動範囲：X軸：±3 mm，Y軸：±3 mm