Deep Si Etcher
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-256 |
| 装置名 | Deep Si Etcher / Deep Si Etcher |
| メーカー名 | 住友精密工業 / Sumitomo Precision Products |
| 型番 | Multiplex-ASE |
| 大分類（第1） |
膜加工・エッチング |
| 中分類（第1） |
プラズマエッチング |
| キーワード | Boshプロセス Siエッチング 深堀 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 超高圧高温発生装置室 |
・ウェーハサイズ：6 inch
・ボッシュプロセス対応