大気圧イオン付着質量分析器
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-242 |
| 装置名 | 大気圧イオン付着質量分析器 / Atmospheric pressure ion attachment mass spectrometry |
| メーカー名 | キャノンアネルバ / Canon Anelva |
| 型番 | |
| 大分類（第1） |
質量分析 |
| 中分類（第1） | |
| キーワード | 大気圧プラズマ 質量分析 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 低温プラズマ科学研究センター |
・大気圧プラズマの質量分析が可能
・検出質量数 1-410