デジタルマイクロスコープ
分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
機器ID | NU-254 |
装置名 | デジタルマイクロスコープ / デジタルマイクロスコープ |
メーカー名 | KEYENCE / KEYENCE |
型番 | VK-9700 |
大分類(第1) |
光学顕微鏡 |
中分類(第1) |
共焦点レーザー走査型顕微鏡 |
キーワード | レーザ顕微鏡 |
設置場所 | 名古屋大学東山キャンパスIB電子情報館西棟5階 |
・分解能:高さ方向 0.01 um
・水平方向 0.13 um
・最大観察倍率:3,000倍
・測定用光源:波長 408 nm