デジタルマイクロスコープ
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-255 |
| 装置名 | デジタルマイクロスコープ / デジタルマイクロスコープ |
| メーカー名 | KEYENCE / KEYENCE |
| 型番 | VK-9510 |
| 大分類（第1） |
光学顕微鏡 |
| 中分類（第1） |
共焦点レーザー走査型顕微鏡 |
| キーワード | レーザ顕微鏡 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパスIB電子情報館西棟5階 |
・分解能：高さ方向 0.01 um
・水平方向 0.14 um
・最大観察倍率：3,000倍
・測定用光源：波長 408 nm