ECR-SIMSエッチング装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-215 |
| 装置名 | ECR-SIMSエッチング装置 / ECR-SIMS etching |
| メーカー名 | 自作 / Lab made |
| 型番 | |
| 大分類（第1） |
膜加工・エッチング |
| 中分類（第1） |
プラズマエッチング |
| キーワード | Arイオンエッチング エンドポイント検出 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
（ECRイオンガン：入江工研社製 RGB-114）
・マイクロ波入力150 W
・加速電圧600 V
・イオン照射径30mm （SIMS検出器：PFEIFFER社製 EDP400）
・分析質量1-512 amu
・試料角度調整，回転機構付き