電子ビーム蒸着装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-224 |
| 装置名 | 電子ビーム蒸着装置 / Electron beam evaporation |
| メーカー名 | アルバック / ULVAC |
| 型番 | EBX-10D |
| 大分類（第1） |
成膜装置 |
| 中分類（第1） |
蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| キーワード | EB蒸着 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス ベンチャービジネスラボラトリ |
・最大投入電力：5kW
・るつぼ数4
・ハースライナー使用