直交型高速加工観察分析装置
| 分野 | 計測・分析分野 |
| 機器ID | NU-104 |
| 装置名 | 直交型高速加工観察分析装置 / High performance focused ion beam system （FIB-SEM) |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ / Hitachi High-Tech |
| 型番 | MI4000L |
| 大分類（第1） |
電子顕微鏡 |
| 中分類（第1） |
走査型電子顕微鏡 |
| キーワード | FIBによる試料加工 SEM観察 エネルギー分散型X線分光 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 超高圧電子顕微鏡施設 |
FIB-SEM 直交配置 FIB, SEM, STEM, Ar Gun, EDS FIB, SEM 最大加速電圧：30kV