超高密度液中プラズマ装置

分野	加工・デバイスプロセス分野
機器ID	NU-241
装置名	超高密度液中プラズマ装置 / In-liquid ultra-high density plasma system
メーカー名	NUシステム / NU System
型番	特注
大分類（第1）	表面処理・洗浄
中分類（第1）	プラズマ処理
キーワード	液中プラズマグラフェン合成細胞改質
設置場所	名古屋大学東山キャンパス低温プラズマ科学研究センター

・有機溶媒を用いたナノグラフェン合成，液体分析，細胞改質が可能
・電源9 kV，60 Hz
・液体：アルコール類　500 mL
・プロセスガス　Ar　3 L/min