スパッタ絶縁膜作製装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-229 |
| 装置名 | スパッタ絶縁膜作製装置 / Insulator sputtering system |
| メーカー名 | MESアフティ / MES Afty |
| 型番 | AFTEX-3420 |
| 大分類（第1） |
成膜装置 |
| 中分類（第1） |
スッパタリング（スパッタ） |
| キーワード | ECRスパッタ 成膜 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス ベンチャービジネスラボラトリ |
・対応基板サイズ：最大3インチ
・酸化膜，窒化膜用