酸化・拡散炉
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-219 |
| 装置名 | 酸化・拡散炉 / Oxidization and diffusion furnance |
| メーカー名 | 光洋リンドバーグ / KOYO Lindberg |
| 型番 | MODEL270-M100 |
| 大分類（第1） |
熱処理・ドーピング |
| 中分類（第1） |
酸化 |
| キーワード | ウエット酸化 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
・温度範囲：600-1150℃
・ウェット酸化用