表面解析プラズマビーム装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-239 |
| 装置名 | 表面解析プラズマビーム装置 / Plasma beam system with surface analysis |
| メーカー名 | 自作 / Lab made |
| 型番 | |
| 大分類（第1） |
表面処理・洗浄 |
| 中分類（第1） |
プラズマ処理 |
| キーワード | プラズマ処理 X線光電子分光 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 低温プラズマ科学研究センター |
・プラズマビームを材料表面に照射後のin-situ XPS評価により，表面-プラズマ間の反応の解析が可能．
・使用ガス：HBr，Ar，CF4，C4F8，Cl2，H2，N2．O2