走査型電子顕微鏡
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-227 |
| 装置名 | 走査型電子顕微鏡 / Scanning electron microscope |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ / Hitachi High-Tech |
| 型番 | S5200 |
| 大分類（第1） |
電子顕微鏡 |
| 中分類（第1） |
走査型電子顕微鏡 |
| キーワード | 表面形状分析 インレンズ 組成分析 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス ベンチャービジネスラボラトリ |
・加速電圧：0.5kV～30kV
・分解能：0.5nm(30kV)
・倍率：～2,000,000
・最大試料サイズ：5mm x 9.5mm