名古屋大学 次世代バイオマテリアル・ハブ拠点

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スプレーコーター

分野 加工・デバイスプロセス分野
機器ID NU-216
装置名 スプレーコーター /
Spray coater
メーカー名 サンメイ / Sunmay
型番 DC110
大分類(第1) 成膜装置
中分類(第1) コーター(スピン、ディップ、スプレイなど)
キーワード スプレーコーティング
設置場所 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設

・対応サイズ:最大 □220 mm
・移動範囲:縦横300 mm
・移動速度:10~200 mm/秒
・粒子径:約5~15 µm