真空紫外吸収分光計
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-243 |
| 装置名 | 真空紫外吸収分光計 / Ultraviolet absorption spectroscopy |
| メーカー名 | NUシステム / NU System |
| 型番 | 特注 |
| 大分類（第1） |
分光・表面分析 |
| 中分類（第1） |
紫外・可視分光 |
| キーワード | 真空紫外吸収分光 プラズマ診断 ラジカル密度計測 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 低温プラズマ科学研究センター |
・プラズマ診断用
・真空チャンバー壁面に設置
・H，O，N，Cラジカル密度計測可