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名古屋大学 次世代バイオマテリアル・ハブ拠点

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薄膜X線回折装置

分野 加工・デバイスプロセス分野
機器ID NU-203
装置名 薄膜X線回折装置 /
X-ray diffraction
メーカー名 RIGAKU / RIGAKU
型番 ATX-G
大分類(第1) 回折・散乱
中分類(第1) X線回折装置
キーワード X線回折 X線反射率
設置場所 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設

・線源:Cu Kα線 18kW
・多層膜ミラー,Geモノクロメーター付き
・測定モード:θ-2θスキャン,ロッキングカーブ,逆格子面マッピング,膜面内φスキャン,φ-2θχスキャンなど