X線光電子分光装置
| 分野 | 加工・デバイスプロセス分野 |
| 機器ID | NU-207 |
| 装置名 | X線光電子分光装置 / X-ray photoemission spectrometer |
| メーカー名 | VG / VG |
| 型番 | ESCALab250 |
| 大分類（第1） |
分光・表面分析 |
| 中分類（第1） |
X線光電子分光 |
| キーワード | X線光電子分光 化学結合分析 組成分析 |
| 設置場所 | 名古屋大学東山キャンパス 先端技術共同研究施設 |
・Mg/Alツインアノード
・AlモノクロX線源
・Arスパッタ銃
・角度分解測定用マニュピレータ
・最大試料サイズ：20mmφ